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江丰电子获得发明专利授权:“一种晶圆托盘的背面结构极悦娱乐代理及其加工方法”

时间:2024-09-21 字号

  证券之星消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆托盘的背面结构及其加工方法”,专利申请号为CN3.6,授权日为2024年9月17日。

  专利摘要:本发明提供了一种晶圆托盘的背面结构及其加工方法,所述晶圆托盘的背面结构包括至少两圈同心环形凹槽,所述环形凹槽与晶圆托盘的中心重合,所述环形凹槽的纵向截面中底边的宽度大于顶边的宽度;所述晶圆托盘的中心和每圈环形凹槽的外侧均设有孔,每圈环形凹槽外侧的孔在圆周上均匀分布。本发明通过在晶圆托盘的背面加工环形凹槽,并对环形凹槽的截面形状进行控制,再通过孔的加工,使得晶圆托盘能够与半导体机台稳定组合,保证晶圆托盘背面的密封性,从而保证晶圆托盘以及晶圆的表面平整度,提高镀膜的均匀性,保证晶圆加工的合格率;所述晶圆托盘的背面结构明确,加工简便,适用于多种类晶圆托盘的加工,适用范围广。

  今年以来江丰电子新获得专利授权65个极悦娱乐代理,较去年同期减少了39.25%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.02亿元,同比增30.77%。

  证券之星估值分析提示江丰电子盈利能力一般,未来营收成长性良好。综合基本面各维度看,股价偏高。更多

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